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Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion
📖 Buch

📋 Bibliografische Angaben

Autor/in: Harald Steffes Steffes
Verlag: Westarp Buchshop
ISBN: 978-3-934529-85-4
Sprache: Ger
Seiten: 160
Medientyp: 📖 Buch

Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion

von Harald Steffes Steffes

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Beschreibung

Stickstoff und Ozon sind umwelt- und gesundheitsrelevante Gase, deren Erfassung in häuslicher und industrieller Umgebung von grosser Wichtigkeit ist. Die vorliegende Arbeit widmet sich der Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierenden Dünnschichten für die Detektion dieser Gase im Bereich der MAK-Werte und darunter.

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Gewicht: 392 g

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