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Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion
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📋 Bibliografische Angaben
Autor/in:
Harald Steffes Steffes
Verlag:
Westarp Buchshop
ISBN:
978-3-934529-85-4
Sprache:
Ger
Seiten:
160
Medientyp:
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Beschreibung
Stickstoff und Ozon sind umwelt- und gesundheitsrelevante Gase, deren Erfassung in häuslicher und industrieller Umgebung von grosser Wichtigkeit ist. Die vorliegende Arbeit widmet sich der Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierenden Dünnschichten für die Detektion dieser Gase im Bereich der MAK-Werte und darunter.
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